Nikon Eclipes LV-150 全方位金相,晶圓檢查顯微鏡

開發背景: 
因應電子半導體,IC-PACKAGE,封裝FPD(TFT, STN, LED, OLED)光電業,電子部品,PCB,材料,金相組織等產業。

 

‧  專用於金屬表面觀察與照相
‧  多種鏡筒選擇 , 雙眼與三眼。並可調整仰角 (8° -32° ) 
‧  Beamsplitter分光設計,可同時連接照相系統、CCDcamera、TV系統
‧  Nikon 最新 CFI60/ICOS 高解像力光學系統設計
‧  摺疊式鏡筒 , 調整瞳孔距離時 , 共焦不變
‧  採用消色差、消球面差之超低散射高級光學鏡片 
‧  高對焦精度 1um 及共焦性 
‧  可選擇標準鏡筒 ( 視野數 22) 與超廣角鏡筒 ( 視野數 25) 
‧  可選擇全新 CFI60/ICOS 明視野與干涉相位差鏡頭
‧  高精度測微器最小讀取值 0.1um 
‧  可加裝 Nikon 數位相機
‧  具底部光源機型 LV100D 可供選擇 
‧  標準光源為 12V50W 鹵素燈源 
‧  具光源及焦聚 Luck 功能

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Nikon LV150 6”晶圓檢查顯微鏡規格(晶元) :

LV150本體

最大工作距離達47mm,加裝column riser可達82mm
兩段粗微同軸調焦,調焦精度達0.001mm

鏡筒

LV-TI3 正相三眼分光光學鏡筒 (F.O.V. 22/25)

目鏡

CFI 10X x2 (F.N. 22)

鏡頭載盤

L-NU5 5孔旋轉鼻輪(微分干涉明暗視野)

光源系統

12V-50W 高效能鹵素光源 
功能:明暗視野光場切換,偏光鏡組插槽,視野光圈,景深光圈,濾光片插槽

XY平移載台

LV-S6 6x6 行程:150mmX150mm (With 6” Waferholder)

鏡頭

CFI LU Plan BD 5X , 10X , 20X , 50X , 100X

濾光片

NCB 11 (自然色濾光片)

特殊光學配件

上偏光鏡(Analizer)
可調式下偏光鏡(Polarizer)
可調式微分干涉光學稜鏡 (DIHC)

影像檢測系統

C-mount 0.55X Lens
CMOS Digital Camera (1.3megapixel) 
EZ-2007 Image measuring Software



主要特點:
承載台從3吋至6吋(150mmx150mm)不等的承載台可選擇,並有模組型顯微鏡IM-4可安裝於大行檢查機台上

(特別在TFT-LCD產業) 亦可加高模組可適用於probe測試及加熱板用觀察。



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領域擴大:
明暗視野,簡易偏光,專業偏光,微分干涉DIC,並增設螢光觀察的功能(無須增購螢光專用。Mercury燈源)
光學設計:
工業用CFI60光學,高n.a.值,長工作距離;共焦距離60mm 特別在LCD CR鏡頭上有重大改革
在50倍lcd物鏡N.A.=0.7 工作距離3.9-3.0mm校正玻璃厚度0-1.2mm。
便利及操作性:
有提供上下擺動目鏡筒為正向;防靜電設計,快速移動載物台,雙分光設計(可同時接兩組照像或攝影機ccd)
防靜電數據1000~10V、0.2秒以內可另有電動鼻輪設計(LV150A)
環保訴求:
1.2安培/75瓦 採用12V50W燈源,並保留原有100瓦設計並可做螢光觀察外接設備:傳統類比式CCD CAMERA,
數位式CCD CAMERA,數位照像機,影像量測軟體等

 

拍攝樣本:

IC CHIP(明視野,暗視野,DIC相位差,由左至右)

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液晶

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COLOR FILTER彩色濾光片

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TFT-LCD (COG導電粒子)

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適用領域: 

因應電子半導體,IC-PACKAGE,封裝FPD(TFT, STN, LED, OLED)光電業,電子部品,PCB,材料,

金相組織等產業。

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